Метрологический комплекс обеспечен стандартными образцами (мерами):

• Мера для калибровки пространственной разрешающей способности зонда (PA01). Результат сканирования поверхности меры атомно-силовым микроскопом приведен на рисунке.

Изображение поверхности меры измеренное зондом с радиусом 10 нм и 1 нм.

• Мера для калибровки формы зонда и нелинейности манипулятора TGX01 используется при измерении профиля зонда атомно-силового микроскопа.

• Меры для калибровки по высоте TGZ.

Фотография меры TGZ , полученная в электронном микроскопе

• Мера для калибровки угловой дисторсии и нелинейности сканера по вертикали TGG01.

Фотография в электронном микроскопе скола меры