| Интерференционный микроскоп CCI |
Описание
Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света. Оптический профилометр состоит из отдельно стоящего блока осветителя, от которого свет направляется по световоду к измерительной головке, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система ( набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав прибора входит компьютер со специализированными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом и два монитора. Две специализированные программы служат для управления механическими частями прибора, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, выделять отдельные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.
Измерения осуществляются с использованием патентованного метода когерентной корреляционной интерферометрии.
Метод основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.
Область применения
Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» (далее прибор) предназначен для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения от 1 до 100 % бесконтактным методом.
Технические характеристики и рабочие условия применения
| Основные технические характеристики |
|
Рабочие условия применения |
| Диапазон измерения (Z), мкм |
0,0001 - 400 |
|
Температура окружающей среды, 0С |
15 - 30 |
| Разрешение (Z), А |
0,1 |
|
| Повторяемость (Z) RMS, А |
0,03 |
|
Изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, 0С |
0,1 |
| Линейность (Z), % |
0,03 |
|
| Оптическое разрешение (X,Y), мкм |
0,4 - 0,6 |
|
Относительная влажность, не более, % |
80 |
| Измеряемая площадка, мм2 |
0,36 - 7,0 |
|
| Коэффициент отражения, % |
0,3 - 100 |
|
Частота возмущающих вибраций при амплитуде колебаний не более 1 мкм |
не более 10 Гц |
| Максимальный размер детали, мм |
300х300х100 |
|
|
|
| Максимальный вес детали, кг |
10 |
|
|
|
| Время измерения, с |
10 - 20 |
|
|
|
Метрологические характеристики
| Измеряемый параметр |
Диапазон измерений, мкм |
Cлучайная составляющая погрешности прибора |
Систематическая составляющая погрешности прибора |
| Rz, R max |
400 |
0,3% + 0,1нм |
3% |
|