You need to upgrade your Flash Player
Федеральный информационный фонд
Калибровочные возможности
Проекты для промышленности
Деятельность
Инфраструктура нанотехнологий
Законодательная метрология
Задай вопрос метрологу
 
 
Интерференционный микроскоп CCI

 

Описание

nano1Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света. Оптический профилометр состоит из отдельно стоящего блока осветителя, от которого свет направляется по световоду к измерительной головке, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система ( набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав прибора входит компьютер со специализированными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом и два монитора. Две специализированные программы служат для управления механическими частями прибора, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, выделять отдельные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.

Измерения осуществляются с использованием патентованного метода когерентной корреляционной интерферометрии.

Метод основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.

Область применения

Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» (далее прибор) предназначен для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения от 1 до 100 % бесконтактным методом.

Технические характеристики и рабочие условия применения

 

Основные технические характеристики Рабочие условия применения
Диапазон измерения (Z), мкм 0,0001 - 400 Температура окружающей среды, 0С 15 - 30
Разрешение (Z), А 0,1
Повторяемость (Z) RMS, А 0,03 Изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, 0С 0,1
Линейность (Z), % 0,03
Оптическое разрешение (X,Y), мкм 0,4 - 0,6 Относительная влажность, не более, % 80
Измеряемая площадка, мм2 0,36 - 7,0
Коэффициент отражения, % 0,3 - 100 Частота возмущающих вибраций при амплитуде колебаний не более 1 мкм не более 10 Гц
Максимальный размер детали, мм 300х300х100
Максимальный вес детали, кг 10
Время измерения, с 10 - 20

 

Метрологические характеристики

 

Измеряемый параметр Диапазон измерений, мкм Cлучайная составляющая погрешности прибора Систематическая составляющая погрешности прибора
Rz, R max 400 0,3% + 0,1нм 3%