На основе анализа существующих мер для калибровки средств измерений нанометрового диапазона была создана комплексная мера. На поверхности комплексной меры размещен следующий состав мер:

• Меры различной толщины МРТ 1,2,3,4,5. – формируются непосредственно на поверхности кремниевой пластины
• Мера PA01 для калибровки пространственной разрешающей способности зонда
• Меры TGX01 , TGX11 для калибровки формы зонда и нелинейности манипулятора
• Мера TGG01 для калибровки угловой дисторсии и нелинейности сканера по вертикали
• Меры TGZ01, TGZ02, TGZ03, TGZ04, TGZ11 для калибровки по высоте