В контактной профилометрии привязка к первичному эталону осуществляется через длину волны лазерных источников света в интерферометрах Майкельсона, установленных вдоль координатных осей средства измерений.

Программно-аппаратное сочетание лазерного интерферометра и профилометра «Talystep» позволяет осуществить привязку к длине волны λ стабилизированного лазерного излучения и таким образом обеспечить единство измерений в нанометровом диапазоне. В профилометре измерительный зонд касается поверхности и сканирует её при измерении профиля поверхности.

На сканирующем устройстве профилометра дополнительно размещается компактный лазерный интерферометр.

Фотография лазерного интерферометра, размещенного на сканирующем устройстве профилометра приведена на рисунке.

Измерение перемещения зонда производится с помощью дополнительного зеркала, расположенного на держателе зонда.

Лазерный интерферометр, размещенный на сканирующем устройстве профилометра.

В измерительном комплексе используется специально разработанный полупроводниковый лазер с длиной волны 0.85 мкм, обеспечивающий стабильность излучения и сопряжение по спектральному диапазону с фотоприемным устройством интерферометра.

Обработка информации результатов измерений в интерферометре Майкельсона производилась на основе измерений относительного смещения 2-х мерных интерферограмм. В результате количество данных измерений матричного фотоприемника, используемых для вычисления фазового сдвига, возрастает (по сравнению с обычным методом) обработки более чем в 1000 раз, что приводит к многократному уменьшению погрешности результатов измерений.

Метод вычисления фазового сдвига излучения отраженного от зеркала расположенного на перемещаемом объекте по результатам обработки 2-х мерных интерферограмм не зависит от амплитуды лазерного излучения. В результате погрешность используемого метода измерений (ограничиваемая уровнем шумов фотоприемной матрицы, разрядностью аналого-цифровых преобразователей) не превышает 0.1нм.

На измерительном комплексе проводилась калибровка мер с изменяемой геометрией (при вертикальном и горизонтальном перемещениях).

Приведенные экспериментальные исследования контактного профилометра на наборе мер нанометрового диапазона показали, что он обеспечивает измерения параметров шероховатости с неопределенностью 10^{-9 м}, декларированной в техническом задании проекта.

Действие прибора основано на принципе ощупывания неровностей исследуемой поверхности алмазной иглой щупа и преобразования, возникающих при этом механических колебаний щупа в изменения напряжения, пропорциональные этим колебаниям, которые усиливаются и преобразуются электронным блоком с последующей оцифровкой данных. Данные обрабатываются специальным программным обеспечением, позволяющем производить расчет, как ряда, так и отдельно выбранных параметров. Результаты могут быть представлены в графическом виде и выведены на принтер.

Прибор TALYSTEP, предназначен для измерения параметров шероховатости поверхности, а также для исследования микрогеометрии поверхностей.