| Прецизионный лазерный интерферометр Физо для измерений параметров рельефа наноструктурированных поверхностей |
Описание
|
ФГУП «ВНИИМС» совместно с НПО «Оптика» разработал прибор метрологического комплекса прецизионной Физо – интерферометрии. Прибор прецизионной интерферометрии предназначен для измерений параметров рельефа плоских наноструктурированных поверхностей до 300×300 мм.
Контроль формы поверхностей основан на анализе формы и расположения интерференционных полос, локализованных на проверяемой поверхности и спроецированных на матричный приемник. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
|
 |
Технические характеристики
| Диапазон измерений, нм |
1,2 ÷ 633
|
| Неопределенность измерений, нм |
1 |
Длина волны излучения лазера λ, мкм
|
0,6328 |
Диаметр параллельного пучка лучей в рабочей ветви, мм
|
300
|
Интерферометр обеспечивает контроль формы плоских поверхностей крупногабаритных оптических деталей диаметром,мкм
|
до 300
|
Примеры работы интерферометра
Проведенные экспериментальные исследования интерферометра Физо на аттестованных наноструктурированных поверхностях показали, что он обеспечивает измерение параметров рельефа поверхности с неопределенностью 10-9м, декларированной в техническом задании на проект. Полученные интерферограммы волнового фронта и топография поверхности плоскостных эталонных зеркал Æ430 мм и Æ155 мм изображены на рисунках.
Интерферограмма волнового фронта и топография поверхности внеосевого параболического зеркала Æ430 мм
Интерферограмма волнового фронта и топография поверхности плоского эталонного зеркала Æ155 мм
|
