You need to upgrade your Flash Player
Федеральный информационный фонд
Калибровочные возможности
Проекты для промышленности
Деятельность
Инфраструктура нанотехнологий
Законодательная метрология
Задай вопрос метрологу
 
 
Модернизированный интерференционный микроскоп (микроинтерферометр)

 

Описание

nano3Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов. Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.

Область применения

Область применения – в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.

Технические характеристики

 

Диапазон измерений, нм 0,4÷120 Неопределенность измерений, нм 0,3
Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм 175х130 Осветитель Твердотельный лазер
Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм 20 Длина волны, мкм 0,473
Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны λ ± λ/350 Мощность, мВт 20
Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм ± 0,4 Размерность изображения, пиксел 1392х1040
Числовая апертура микрообъектива 0,65 Время измерения и обработки, с 30
Пределы перемещения для фокусировки, мм 3 Число обрабатываемых интерференционных картин 9
Увеличение, крат 33,4 Частота сети питания, Гц 50 ± 1
Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм ± 1,5
Напряжение в сети питания, В 220 ± 20
Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм 0,003 Потребляемая мощность, не более Вт 250