Модернизированный интерференционный микроскоп (микроинтерферометр)
|
Описание
Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1 предназначен для измерений глубины рельефа поверхности отражающих объектов. Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Область применения
Область применения – в машиностроении, приборостроении и лабораториях научно-исследовательских институтов, занимающихся вопросами оценки и измерения параметров микрорельефа поверхности.
Технические характеристики
| Диапазон измерений, нм |
0,4÷120 |
|
Неопределенность измерений, нм |
0,3 |
| Линейное поле зрения в плоскости предмета, мкм |
175х130 |
|
Осветитель |
Твердотельный лазер |
| Максимальная измеряемая глубина рельефа, мкм |
20 |
|
Длина волны, мкм |
0,473 |
| Пределы допускаемой погрешности по глубине рельефа, в долях длины волны λ |
± λ/350 |
|
Мощность, мВт |
20 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности в плоскости изображения, мкм |
± 0,4 |
|
Размерность изображения, пиксел |
1392х1040 |
| Числовая апертура микрообъектива |
0,65 |
|
Время измерения и обработки, с |
30 |
| Пределы перемещения для фокусировки, мм |
3 |
|
Число обрабатываемых интерференционных картин |
9 |
| Увеличение, крат |
33,4 |
|
Частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |
| Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм |
± 1,5
|
|
Напряжение в сети питания, В |
220 ± 20 |
| Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм |
0,003 |
|
Потребляемая мощность, не более Вт |
250 |
|