| Интерференционный профилометр ZYGO |
Описание
|
Сканирующий интерференционный микроскоп белого света NewView 6200 (далее – микроскоп) – это универсальный (многоцелевой) прибор для трёхмерного анализа геометрической структуры поверхности различных объектов, изготовленных из разного материала: металла, керамики, стекла и т.д.. Он создаёт графические изображения и проводит их цифровой анализ с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта. На основе данных об относительной высоте микроскоп позволяет определять:
- параметры шероховатости поверхности, нормируемые в отечественных и международных стандартах;
- радиус кривизны поверхности, в том числе радиус сферы;
- относительную высоту.
Проведенные экспериментальные исследования модернизированных интерференционных микроскопов на наборе мер нанометрового диапазона показали, что они обеспечивают измерения параметров шероховатости и рельефа с неопределенностью λ/800 мкм.
|
 |
Область применения
Научно-исследовательские институты, оптическое приборостроение, микроэлектроника, материаловедение.
Технические характеристики
| Диапазон измерений по оси Z, нм |
0,3 ÷ 150000 |
| Неопределённость измерений, нм |
0,2 |
| Средняя длина волны оптического излучения, нм |
550 |
| Скорость сканирования, мкм/сек |
до 7
|
| Разрешение в латеральном направлении, нм |
370
|
|
