Контактное лицо
ЛЫСЕНКО
Валерий Григорьевич
Начальник отдела
203
lysenko@vniims.ru
Lisenko_Valery
Описание

ГЭТ 183-2010

В основу работы эталона положен интерференционный принцип воспроизведения единицы длины отклонений от плоскостности прецизионных номинально плоских оптических поверхностей размером до 200 мм.

Область применения:

  • передача размера единицы длины отклонений от плоскостности при помощи вторичных эталонов и эталонных средств измерений рабочим средствам измерений;
  • калибровка мер и приборов для измерений отклонений от плоскостности поверхностей, используемых во всех отраслях машиностроительного комплекса, например, станкостроении, приборостроении, производстве космической, медицинской и электронной техники, в машиностроении для текстильной и пищевой промышленности;
  • высокоточные измерения элементов электронной, промышленной и бытовой видеотехники.

Передача размера единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей исходным средствам измерений Украины и Республики Беларусь.

Эталон состоит из:

  • автоматизированной фотоэлектрической измерительной установки на базе интерферометра Физо со специализированным программным обеспечением;
  • комплекта эталонных мер отклонений от плоскостности диаметром 100 мм и 200 мм.

get_183-2010

Технические характеристики
Вид измерений
Измерения отклонений от плоскостности оптических поверхностей
Номинальные значения, диапазон
EFE = 0,002…2,0 мкм
Случайная погрешность воспроизведения
0,4×10-3 мкм
Неисключенная систематическая погрешность
- для поверхностей размером до 100 мм - 0,5×10-3мкм
- для поверхностей размером до 200 мм - 1,5×10-3 мкм
Стандартная неопределенность, по типу А
- для поверхностей размером до 100 мм - 0,4×10-3мкм
- для поверхностей размером до 200 мм - 0,4×10-3 мкм
Стандартная неопределенность, по типу В
- для поверхностей размером до 100 мм - 0,5×10-3мкм
- для поверхностей размером до 200 мм - 1,5×10-3 мкм
Расширенная неопределенность (коэффициент охвата k=2)
- для поверхностей размером до 100 мм - 2,4×10-3мкм
- для поверхностей размером до 200 мм - 3,8×10-3 мкм
VNIIMS © Copyright